低溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢(shì)顯著。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子平均能量超過目標(biāo)治理物分子化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂，達(dá)到消除氣態(tài)污染物的目的。

等離子體化學(xué)反應(yīng)過程中，等離子體傳遞的化學(xué)能量在反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

(1)電場(chǎng)+電子→高能電子

(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán))活性基團(tuán)

(3)活性基團(tuán)+分子(原子)→生成物+熱

(4)活性基團(tuán)+活性基團(tuán)→生成物+熱 從以上過程可以看出，電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán);之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。

◆ 隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會(huì)在大氣中停留較長(zhǎng)的時(shí)間，還會(huì)擴(kuò)散和漂移到較遠(yuǎn)的地方，給環(huán)境帶來嚴(yán)重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對(duì)人體的健康產(chǎn)生極大的危害，工業(yè)廢氣的無控制排放使全球性的大氣環(huán)境日益惡化。因此選擇一種經(jīng)濟(jì)、可行性強(qiáng)的處理方法勢(shì)在必行。低溫等離子廢氣處理設(shè)備在此情況下應(yīng)運(yùn)而生。

◆ 降解揮發(fā)性有機(jī)污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對(duì)于低濃度的VOCs很難實(shí)現(xiàn)，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有很大的優(yōu)勢(shì)。但由于等離子體是一門包含放電物理學(xué)、放電化學(xué)、化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)等基礎(chǔ)學(xué)科之上的交叉學(xué)科。因此,目前能成熟的掌握該技術(shù)的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術(shù)處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術(shù)或根本達(dá)不到所要求的處理效率。